衍射光学元件是基于光的衍射原理,利用计算机设计衍射图,并通过微电子加工技术在光学材料只做表面浮雕的元件,这类光学元件除了具有体积小、重量轻等优点外,还具有独特的消色散和消热差功能,可以减少光学系统中的透镜个数,减小光学系统的体积和重量,有着非常广泛的应用。衍射光学元件诞生之初被称作二元光学元件,其加工制作工艺的发展经历了以下三个阶段：二值化二元光学元件制作、多台阶二元光学元件制作和连续成型衍射光学元件制作。衍射光学元件发展至今产生的主要制造方法有：光刻法、直写法、单点金刚石车削法、模压法等,其中模压法是是解决衍射光学元件批量化生产的关键技术,可以实现衍射光学元件的大量复制,有很高的的研究价值。本文以此为出发点,对模压法制造衍射光学元件进行了深入的研究,论文研究的主要内容有：1、模压法制造衍射光学元件母模具的设计与制造,最终用单点金刚石切削的方法加工出了课题所需的金属铜模具；2、模压胶的选择与使用,模压胶的填充机理及缺陷分析,选取了PMMA胶和SU8胶进行分析,并最终采用PMMA胶作为模压胶,对影响该胶成型的关键因素进行了分析；3、模压工艺的探索与实验,分析了影响模压质量的关键因素并对缺陷形成的原因进行了深入分析；4、等离子体刻蚀转移图层,将母模具上的浮雕结构模压转移到PMMA胶上后,借助英国牛津仪器生产的ICP180刻蚀系统,对基底和PMMA胶的刻蚀速率进行了研究,探索转移图层所需的刻蚀工艺参数,对影响刻蚀结果的关键因素进行了分析,最终用等离子体刻蚀的方法将铜模具上的结构互补的转移到了基底材料上。