随着科学技术的发展，微纳米精密定位系统成为研究热点，定位精度对于微纳米定位系统是一个很重要的指标，而定位系统中驱动器件的性能对定位精度有很大影响。在众多驱动器件中压电陶瓷驱动器具有体积小、承载力大、分辨率高、无噪声、不发热等优点，被广泛应用于微定位系统。但是压电陶瓷还具有迟滞非线性现象，在开环条件下给系统的控制带来了困难。本文针对压电陶瓷的迟滞非线性问题，结合国家自然科学基金项目“压电陶瓷高速动态精密定位驱动机理与控制方法研究”,采取建立迟滞模型并进行有效控制的方法来减小迟滞非线性的影响。首先基于Prandtl-Ishlinskii迟滞算子建立了压电陶瓷的PI迟滞模型，该迟滞模型可以精确地描述迟滞非线性现象。在此基础上利用初始负载函数对PI迟滞模型进行分析推导，求得了压电陶瓷PI迟滞逆模型，为进一步对压电陶瓷驱动器进行自适应逆控制提供了模型基础。基于所建立的压电陶瓷PI迟滞模型及其逆模型，应用LMS滤波器设计了自适应逆控制算法，能有效实现对压电陶瓷驱动器迟滞模型中权系数的自适应调整。搭建微定位实验系统，对建立的PI迟滞模型进行了实验研究。实验结果表明，利用自适应逆控制算法，可以使系统的输出线性误差得到明显改善。结合压电陶瓷迟滞曲线的特点和微观极化理论基础，建立了线性变换迟滞数学模型，并通过对迟滞曲线剪灭特性的分析，得到了改进的线性变换压电陶瓷迟滞数学模型，最后用所建立数学模型预测的迟滞曲线和实测值进行对比，验证了所建立模型的准确性。