基于MOEMS技术的ICE生物芯片系统的研究

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生物芯片技术是目前国际学术界和企业界积极研究的一项热点技术.随着信息、材料、机械、微电子等科学的广泛渗透,及其在生命科学领域中的深入发展与应用,生物芯片技术已逐渐走向成熟,形成一定的商业市场,具有良好的发展前景.因此研究具有自主知识产权的生物芯片技术具有十分重要的理论意义和应用价值.该文的工作由天津市自然科学基金资助,研究目的是设计制作出集成PCR扩增反应器的ICE生物芯片.该文研究了基于MOEMS技术的ICE生物芯片系统,通过对片上系统的理论研究与模型分析,结合芯片系统的特点,设计制作出三种用于实验研究的ICE芯片,并研制了控制电路与检测系统,构成一套完整的芯片分析系统.主要研究工作如下:①单晶硅各向异性腐蚀的研究.②微加热器的设计研究.③PCR扩增温度控制系统的研究.④设计制作三种ICE芯片.⑤基于CCD的荧光信号检测系统的研究.
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