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传统微纳制造多采用光刻,刻蚀等加工微纳结构,这些加工方法一般成本较高,工艺复杂,难以形成规模化制备。薄膜/基底结构受到压缩应力时会发生失稳,当应变量接近临界值时结构会发生屈曲,在薄膜的表面形成褶皱。研究人员通过控制工艺参数,能够改变褶皱的波长幅值等形貌参数,使褶皱达到微纳结构。这种工艺一般采用简单的物理变形,得到微纳结构。具有结构可控,工艺成本较低,能够大规模制备等特点。在仿生研究,柔性电子等领域广泛应用。本文采用两种方式产生应力应变来制备形貌可控的纳米尺度褶皱:预拉伸法和热膨胀法。将嵌套褶皱和边界