随着制造业向微细化方向发展，微电子、航空航天、精密仪器和精密模具等领域中出现了越来越多尺度在微米级的金属微细结构，传统微细加工技术在加工这些微细结构时，通常会面临高工具损耗及工件热变形等问题。与之相比，微细电解加工技术因其电化学离子去除的方式来微量溶解工件的独特优点，使其在具备微细加工能力的同时又可以有效避免上述问题的产生，近年来受到世界各国研究人员的广泛关注，成为微细加工领域的研究热点。在微细电解加工研究领域，提高微细电解加工精度一直是研究者不懈追求的目标，加工过程中的溶解定域性是影响微细电解加工精度最关键的核心问题，其中加工间隙的分布状况是分析微细电解加工溶解定域性的关键。本文在分析超声扰动电解液微细电解加工可行性基础上，提出了借助超声的空化作用来改善加工间隙内电解液流场分布，以提高微细电解加工的溶解定域性。结合微细电解加工原理和超声频振动理论，深入研究了超声扰动电解液的作用机理，进而分析了间隙内流场参数的分布规律。使用多物理场耦合分析软件COMSOL Mutiphysics对电解液扰动状态下加工间隙内的流场、声场、电场等多物理场进行仿真分析，仿真结果证明加工域内存在超声空化作用。通过比较相同加工参数条件下施加超声振动和未加超声振动时加工间隙流场参数的的变化，为超声扰动电解液提高微细电解加工定域性及加工效率奠定了理论基础。以微孔结构为试验对象，设计了专用的超声扰动电解液微孔电解加工的流场夹具，在数字化超声扰动电解液微细电解加工试验平台上，使用螺旋圆柱电极分别进行了微细电解加工及超声扰动电解液微细电解加工试验。试验结果表明，采用超声扰动电解液的辅助加工方法有效地提高了微细电解加工的定域蚀除能力，提高了加工精度和加工速度。本文进行的是超声扰动电解液微细电解加工间隙流场的研究，是系统研究超声扰动电解液微细电解加工机理的基础性工作，为其更深层次的研究、实验以及论证奠定一定的基础。