近年来,并联机构的利用和发展越来越受到人们的重视,其在各个领域的应用非常广泛,主要原因是由于其整体刚度相对比较大、执行器所承载的能力很强、运行操作相对比较简单等优点。但同时因其是一个多输入多输出、存在严重的非线性、强耦合系统,很大程度上影响了并联机器人更广阔地应用。本文主要通过对3-RRR型高精度微动平台的压电陶瓷驱动控制研究。首先对并联机器人现在的广泛应用进行了介绍并说明了存在的主要问题和现状等。其次介绍了平面并联机构的运动学分析基本知识及进行了微运动学分析。然后分别阐述了微位移驱动器的分类、微动平台的发展、压电陶瓷的迟滞、蠕变、位移非线性等特性。接着详述了微动平台的硬件组成和构建。最后是控制方法的设计及实验结果和分析。控制方法的设计与实验分析是本论文的核心。论文所采用的控制方法是PID闭环控制,另外还在PID控制方法的基础上进行改进,设计出了另一种控制方法,即模糊自整定PID控制。所有控制方法都是基于NI的Labview平台完成的。本论文做了二自由度和三自由度精密定位平台两个控制程序,在实验室可根据压电陶瓷的实际情况进行选择。