压电陶瓷微位移器是近几年来发展起来的一种新型微位移器件,具有体积小、精度高、频响高等优点.因此,压电陶瓷微位移器被广泛应用于精密仪器和精密控制中,如微电子、医疗器件、光学器件、精密机械和精密加工等.论文介绍了微位移技术的发展状况,同时对所采用的压电陶瓷微位移器进行了特性分析及实验研究.为解决压电陶瓷本身存在的迟滞、非线性、蠕变等一些不良特性,该文设计了以单片机为控制核心的闭环系统,并详细介绍了系统的基本原理.为了实现闭环控制,该文设计了将电感传感器和压电陶瓷微位移器集成为机构、驱动和检测一体化的感知型微位移器.对该微位移器结构、数学模型及在加载情况下的变形进行了分析,同时对该微位移器进行了特性测试及分析.在系统的硬件设计中,采用了一些典型的接口电路,同时对微位移传感器、驱动电源及单片机系统做了详细的介绍.在控制器与计算机的通讯中,设计了用打印机接口来直接控制驱动电源和电感测微仪的通讯电路,并介绍了该电路的基本原理.在系统软件的设计中,对该系统所采用的模糊控制算法进行了详尽的分析.为了扩展整个系统的功能,介绍了一些利用计算机来完成的辅助性功能.对所设计的微位移器的开环动态特性、三角波频率特性和闭环静态、动态特性进行了实验研究,对控制系统的控制精度进行了验证.实验表明该控制系统满足使用要求.