在超精密加工领域中,总是希望微小的驱动力或输入位移变化就能引起工作台有所响应,对超精密运动平台的精度、运行速度和运行加速度等技术指标提出了更高的要求,基于此,出现了基于气体润滑技术,以及直线电机驱动技术为载体的超精密工作平台。在超精密气浮工作平台研究工作中,多是忽略了气浮轴承的安装位置对气浮工作平台整体性能的影响,该问题的研究多停留在理论分析和仿真阶段,对超精密工作平台设计的优化和改进没有实际数据的指导。本文设计了一种新型结构的直线电机驱动的气浮导轨性能测试实验台,完成了实验台整体结构设计,选用了合适参数的直线电机和光栅尺,并利用误差均化理论完成了动导轨滑架长度设计,导轨滑架采用焊接框架组合结构,可更换与安装多种型号、不同数量气浮轴承,实现对称和非对称全封闭结构布置,形成不同结构布局的气浮导轨,基于此,在不同位置布置了气浮轴承,完成了多种结构气浮导轨的设计,并对现有的一些气浮轴承的布置提出了优化建议。本文分析了传统的闭式导轨的气浮轴承安装方式,完成了气浮轴承安装支架结构的新设计,在传统结构的基础上串联了碟形弹簧,能够实现气浮轴承的白定位及导轨气浮间隙的补偿,降低了静导轨加工精度的要求,能够克服外界因素引起的气膜间隙的变化,提高气浮导轨的性能。基于气浮轴承在气浮导轨中作用的不同,初步设计了气浮导轨的供气系统。实现对不同作用气浮轴承的供气量及供气压力的控制,研究气浮导轨的性能。最后,设计了实验台的实验研究方案。可以完成不同布局气浮导轨的静态刚度、动态六自由度误差等性能的测量,并完成了实验的测量。总之,该实验台系统刚度大、结构稳定性好,安装使用方便,能够满足多种气浮导轨的实验研究,提高了气浮导轨实验台的利用率和使用范围。