随着微纳制造技术的日益成熟与发展,微机电系统变得更加复杂和更加微小,其装配要求和装配难度也随之提升,这也越来越显示出微操作系统研究的重要性。本文提出一种基于LRC振荡电路原理的微纳机械臂。该机械臂利用静电悬浮原理生成作用在微器件上的电场力,使用LRC振荡电路对电场力进行反馈控制,实现微器件的拾取、移动和放置操作。通过建立微纳机械臂机电耦合力学模型,分析了LRC振荡式微纳机械臂实现微纳操作的工作原理。研究了微纳机械臂进行拾取、移动和放置微操作时工件的受力情况。仿真分析了微纳机械臂的工作过程的电场变化,计算了仿真模型的电容值与电场力变化曲线。搭建了一个基于LRC振荡式微纳机械臂的微纳操作系统,该微纳操作系统由图像反馈系统、运动定位系统、电源电路模块三个部分组成。根据微纳操作系统对末端执行器的要求,研究了末端执行器的制备工艺,使用电化学腐蚀方法制备出微米工具电极与纳米工具电极。使用微纳操作系统进行了微米颗粒操作实验。通过实验对系统参数进行了优化调整。完成了微米级氮化硅颗粒的拾取、移动与放置操作,证明了微纳操作系统操作微米级元件的可行性。使用微纳操作系统进行了纳米颗粒操作实验。通过实验完成了系统参数的优化调整。完成了螺旋碳纳米管和单分散聚苯乙烯纳米球的拾取、移动与放置操作,证明了微纳操作系统操作纳米级元件的可行性。