光学干涉测量技术凭借其非接触、高精度、高灵敏度等特点成为精密计量领域中较为常用的方法之一。在该测量技术中,前期的干涉条纹获取及后期的干涉条纹处理是其中较为关键的环节。本课题主要致力于后期的干涉条纹处理,即通过对隐含在干涉条纹中的相位信息进行提取,进而获得所需如高度、厚度、折射率等一系列待测物理量。干涉条纹的相位提取技术被广泛应用于三维轮廓测量、激光干涉测量及结构光面形测量中。本文根据目前光学干涉测量技术的精度需求,在窗口傅里叶变换法的基本原理进行分析的基础上,利用仿真及实验的手段对其进行了精度分析及实验验证,并针对研究中存在的问题进行了改进,具体研究工作如下:窗口傅里叶相位提取技术的基本理论:首先对传统傅里叶变换法进行理论推导并进行仿真分析,确定了FFT算法的最优滤波窗类型;推导窗口傅里叶变换相位提取技术的基本理论,并对衍生算法—窗口傅里叶脊法及窗口傅里叶滤波法进行最优参数选取准则的理论推导。窗口傅里叶相位提取技术的精度分析:基于WFT的基本理论及对应两种算法的最优参数理论推导结果,利用Matlab仿真干涉条纹图,对以上理论结果进行算法的精度分析,通过相位误差计算的方式确定窗口傅里叶变换算法的最优参数选取准则。窗口傅里叶相位提取技术的实验验证:利用Zygo干涉仪采集实验干涉条纹,对其进行FFT法及WFT法的相位提取处理并拟合对应面形,将结果与Zygo干涉仪所获结果进行比较,实现多种相位提取技术的精度对比并检验仿真过程中确定的最优参数选取准则的精确度。窗口傅里叶相位提取技术的改进研究:为解决窗口傅里叶相位提取技术在实验过程中存在的相位失真现象,提出一种傅里叶—窗口傅里叶联合相位提取技术,并通过仿真及实验验证了该技术较传统窗口傅里叶相位提取技术的高精度及高适用度,实现窗口傅里叶相位提取技术的改进。