【摘 要】
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高阻硅探测器的漏电流是噪声的主要来源，它直接影响能量分辨率好坏和灵敏度高低，是探测器的重要参数之一。如何把漏电流减少到最低限度，从而获得高质量的探测器，是目前国内外正在
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高阻硅探测器的漏电流是噪声的主要来源，它直接影响能量分辨率好坏和灵敏度高低，是探测器的重要参数之一。如何把漏电流减少到最低限度，从而获得高质量的探测器，是目前国内外正在研究的重要课题。本文系统地分析了漏电流产生的机理及其主要的影响因素；在现有工艺条件基础上，采用保护环结构使PIN电流型探测器的漏电流减少了0.5～1个量级。 本文对保护环结构PIN电流型探测器的原理、结构、工艺以及测试等方面，均有详细地论述，从而为今后的工作打下了坚实基础。另外，文中还介绍了其它几种降低探测器漏电流的方法；也为下一步工作做了初步设想。
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