【摘 要】
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本研究的目的是采用流延工艺制备用于晶体振荡器基板的黑色氧化铝。本文综述了国内外研究现状,着重就黑色氧化铝流延工艺参数的控制方面,研究氧化铝流延浆料、有机配方,烧结
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本研究的目的是采用流延工艺制备用于晶体振荡器基板的黑色氧化铝。本文综述了国内外研究现状,着重就黑色氧化铝流延工艺参数的控制方面,研究氧化铝流延浆料、有机配方,烧结工艺等对黑色氧化铝基片性能的影响,获得最佳流延配方,流延基片综合性能良好。另外对于其多层共烧工艺进行了一定研究。流延成型工艺参数的确定。乙醇和丁酮的非共沸混合液作溶剂,选择适合溶剂和特定氧化铝粉体的分散剂,并研究了氧化铝的固含量、分散剂和粘结剂的百分含量、增塑剂与粘结剂的比值(R)对于浆料稳定性的影响,以及氧化铝固含量、R值、分散剂和粘结剂的百分含量对于素坯性能的影响。在固含量在50%,分散剂在2~4.5%,粘结剂在31.9%,R=0.4的条件下得到自然干燥,表面光滑有质感,有一定的强度和韧性的素坯膜。将所制得的素坯在1320℃下采用轻压烧结,得到瓷体平整无卷曲,烧结密度3.5g/cm3左右,收缩率在15~17%之间,电阻率在108-9量级,B2O3含量为2%时,介电常数为13.7。此外,本文对于多层陶瓷共烧工艺进行了研究,对流延素坯进行切片,印刷钨电极,采用适当压力进行热压叠层,然后气氛保护烧结。
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