【摘 要】
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本文在分析了半导体工厂自动化系统中三种主要的设备集成方案的基础上,分析了Robot Cell Controller的功能,研究在高级过程控制模型下如何实现它的功能并将其应用于薄膜太阳
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本文在分析了半导体工厂自动化系统中三种主要的设备集成方案的基础上,分析了Robot Cell Controller的功能,研究在高级过程控制模型下如何实现它的功能并将其应用于薄膜太阳能生产线。本文首先介绍了工厂自动化系统、制造执行系统和设备自动化控制平台的基本功能,分析比较了当前在半导体工厂用到的三种设备集成模型：单元控制模型、组件控制模型、高级过程控制模型。然后分析RCC在薄膜太阳能生产线上功能需求,实现了用于开发和测试的设备模拟器和适配器,并实现了RCC在工厂自动化系统中的应用。主要工作有：实现了RCC设备模拟器和适配器、实现了RCC在设备自动化控制平台中的过程控制、实现了RCC在制造执行系统中的逻辑控制。
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