电沉积光亮镍铁合金工艺及其磁性能的研究

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巨磁阻抗效应(Giant Magneto-Impedance effects,GMI)是指铁磁材料的交流阻抗随外加直流磁场的改变而快响应、高灵敏的变化特性。GMI效应在信息记录和高灵敏微型磁传感器等领域具有极大的应用前景,是当今磁电子学领域的研究热点之一。 采用电沉积的方法制备光亮的镍铁合金薄膜,由于在镍铁合金异常共沉积时,部分氢气在阴极铜表面上析出产生阻碍作用,导致析出的镍铁合金镀层为“非晶态”。非晶态的镍铁合金具有优异的软磁特性,可以产生较大的巨磁阻抗效应。本论文基于合金电沉积的原理,通过大量的试验探索,得出电沉积光亮Ni80-δFe20+δ(0<δ<1)非晶态合金的优化工艺及其条件,从理论和实验两个方面讨论了电沉积的工艺条件对镍铁合金的软磁性和巨磁阻抗效应的影响,成功地制备出软磁性能较好的非晶态镍铁合金薄膜,并获得了较大的GMI效应。 本论文的主要内容和结果如下: 1.电沉积光亮镍铁合金 采用高盐、低盐光亮镍铁合金镀液进行电镀,阐明镀液中各成份和工艺条件对镀速及镀层品质的影响,通过大量的优化设计试验,说明低盐光亮镍铁合金镀液的效果好,得出该论文试验的优化电沉积工艺及参数,制备出厚度适中、镀层均匀、致密、光亮度好的镍铁合金薄膜,且工艺过程重复性好。 2.非晶态镍铁合金的磁性能 根据软磁合金特性的具体需要,对实验所用镀液的成份和工艺参数进行分析选择,控制镍铁合金中镍铁比例约为79:21,同时对镀层的成份和性能作了一系列的测试和分析,最终在软磁性能较好的单层镍铁合金薄膜与复合NiFe/Cu/NiFe合金薄膜上获得较大的巨磁阻抗效应。
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