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随着高新科技的快速发展,轴承工作环境、速度和精度的要求不断提高,静压气体轴承由于高速度、高精度、粘性摩擦小、低功耗等优点应用于三坐标测量机、微电子制造平台等超精密设备。随着下一代光刻曝光、干涉测量和半导体检测技术的发展,轴承工作环境逐渐变为真空或者高洁环境,相对于大气环境中,真空环境下静压气体轴承内流场比较复杂,轴承静动态性能都会发生变化,而且必须添加密封结构减少气体泄漏量。目前,对于真空环境下的静压气体轴承研究还不丰富,轴承结构设计和参数优化方法还不成熟。为此,本文设计适用于真空环境下的静压气体轴