ZAO靶材及薄膜的研究

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【摘要】

：

氧化锌(ZnO)是一种具有六方纤锌矿晶体结构的宽禁带II-VI族半导体材料,由于其优良的特性,在太阳能电池、紫外探测器、声表面波器件、气敏传感器、透明电极等方面得到了广泛的应用。近年来,由于Al掺杂的ZnO薄膜(ZAO)具有与ITO薄膜相比拟的光电性能(可见光区高透射率和低电阻率),又因其价格较低以及在氢等离子体中的高稳定性等优点,已经成为替代昂贵的ITO薄膜的首选材料和当前透明导电薄膜领域的研究

【作者】

：

柯文明

【机构】

：

华中科技大学

【发表日期】

：

2008年06期

【关键词】

：

团聚纳米 ZnO ZAO 靶材烧结 ZAO薄膜氧氩比

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