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近年来,以高性能、便携、质轻、可弯曲、甚至可以变形成任意形状为特点的柔性电子器件在各个领域(如太阳能电池、可穿戴设备、柔性显示屏、生物医疗传感器等)得到广泛的应用。柔性电子器件在日常使用中,会受到循环弯曲和拉压变形。在循环载荷作用下,材料会产生疲劳损伤,最终导致器件和材料发生疲劳失效。金属薄膜作为柔性电子器件中重要的电极或金属互连线材料,其机械稳定性是柔性电子器件正常服役的基本前提。电子设备的外观尺寸在不断减小而其集成度却在不断增加,导致其所用材料的特征尺度也随之减小到微米甚至纳米尺度。当薄膜材料特