【摘 要】
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压电陶瓷及其产生的逆压电效应,可利用其原理制成微位移驱动器,实现微位移精密控制。而目前,压电陶瓷材料应用研究的迅速发展,已使压电陶瓷材料在所有陶瓷材料的应用中成为了最为重要的一环。在大量的工作实践中,位移和力这两个物理量是计量学中最基本的两个物理量,而压电陶瓷材料又是一种新型的固态器件,它集成了结构元件与电子元件,所以在精密的机械加工领域,压电陶瓷材料的应用可以说已经非常广泛了。局限于压电陶瓷材料
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压电陶瓷及其产生的逆压电效应,可利用其原理制成微位移驱动器,实现微位移精密控制。而目前,压电陶瓷材料应用研究的迅速发展,已使压电陶瓷材料在所有陶瓷材料的应用中成为了最为重要的一环。在大量的工作实践中,位移和力这两个物理量是计量学中最基本的两个物理量,而压电陶瓷材料又是一种新型的固态器件,它集成了结构元件与电子元件,所以在精密的机械加工领域,压电陶瓷材料的应用可以说已经非常广泛了。局限于压电陶瓷材料晶体的结构,目前对它的应用大都对其施加比较小的力值载荷(<100kN),而为了解决在3MN叠
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