当今，半导体产业处于一个风云变幻的市场环境。企业必须第一时间对市场变化作出反应，否则就可能面临丢失市场份额的威胁，这就要求企业生产计划的制定周期要相当短；半导体装备成本越来越高，企业急需提高设备使用率，节省资本支出；半导体制造的复杂性和专业性使其生产管理成为最具挑战的课题。因此能拥有一套适应企业多变的业务需求的、可扩展的、高可用性的的MES(Manufacturing Execution System,制造执行系统)系统显得越来越重要。然而，由于半导体其特殊的行业特征，如何选用适合自己的MES来提高公司竞争力成为半导体制造企业思考的主要问题。 本文首先介绍了MESA国际协会提出的制造执行系统及其功能模型。接着对半导体行业背景，半导体技术及发展趋势进行了阐述。然后，本文在结合半导体行业特征的基础下，着重讨论基于半导体行业的MES功能设计及系统设计。通过MES系统实施前后的对比及场景模拟，详细论述了MES系统如何帮助半导体制造企业优化生产流程，提高生产质量。同时分析了MES系统的实施过程及建议。 最后，总结了本文所做的工作，并对基于半导体行业的MES系统的发展进行了展望。