在微流量控制系统中，微型泵作为核心的控制元件，在医学、化学、生物工程和电子工程等领域都有着广泛的应用前景，已经成为MEMS研究的热点之一。本文主要研究了基于MEMS技术的微型泵。 首先本文总结了国内外微电子机械系统发展状况，尤其对各种微泵的研究现状及其特点进行了对比研究。同时对MEMS加工工艺进行了系统的研究，对本课题相关的LPCVD技术、蒸发镀膜技术、体硅各向异性腐蚀技术、键合技术进行了重点介绍。并对粘结键合效果进行了研究。 本论文主要是希望获得制作工艺相对简单、稳定；驱动电压较低，性能稳定可靠，易于控制的微型泵。本论文首先研究了无阀式压电微泵的工作原理、结构设计优化、制作工艺流程以及性能测试，并与悬臂梁式压电微泵进行了性能对比。无阀压电微泵的动态特性研究表明：流速随频率成抛物线关系变化，最佳工作频率为1250Hz；在频率固定时，微泵流速随驱动电压的增加而增加；泵膜的厚度对于微泵的性能影响很大，相同条件下，较薄的泵膜具有更高的流速；而且泵膜越薄，对于频率的变化越敏感。驱动电压70V电压时，无阀压电微泵的输出背压值达153Pa。其最大流量可达1.695μl/min。相比之下，悬臂梁式压电微泵的开启压力比较高，达228Pa，而且输出具有明显的脉动性。总体看来，无阀压电微泵具有结构简单，驱动稳定、可靠等优点。 本文还对电渗泵进行了研究。电渗泵是基于电渗原理，利用微通道两端的电势差来控制微通道中的液体流动。本文研究了PDMS电渗泵的制作工艺以及驱动效果。结果表明通过采用动态涂层的方法，PDMS电渗泵可以获得对微流体的良好控制。本文还利用XPS方法研究了PDMS电渗泵表面处理的效果。从理论的角度分析了表面处理对于电渗泵的重要性。