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对MEMS在惯性测量中的应用状况进行了总结 ,介绍了加速度计和陀螺仪的基本工作原理和商业化情况 ,提出了我国发展微机械惯性传感器的一些发展思路
MEMS在惯性测量中的应用
【摘 要】
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对MEMS在惯性测量中的应用状况进行了总结 ,介绍了加速度计和陀螺仪的基本工作原理和商业化情况 ,提出了我国发展微机械惯性传感器的一些发展思路
【机 构】
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清华大学工程力学系
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2001年07期
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