铟液态金属离子源的研制

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：duminzl

【摘要】

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本文详细报道了铟液态金属离子源的具体制作工艺及其主要实验结果。 This paper reports in detail the indium liquid metal ion source of the specific production proce

【作者】

：

姜祥祺加藤隆男

【机构】

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复旦大学,日电爱年华公司,

【出处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

1985年06期

【关键词】

：

离子源液态金属钨丝点焊发射性能浸润情况微米离子流制作工艺真空处理

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本文详细报道了铟液态金属离子源的具体制作工艺及其主要实验结果。 This paper reports in detail the indium liquid metal ion source of the specific production process and its main experimental results.

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