用试样的光学显微镜标记为扫描电镜样台自动定位

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矿物试样X射线微区分析过程中,搜索分析点耗费不少机时。用光学显微镜预先把试样分析点坐标标记在台控文件里,然后把文件送扫描电镜控制算机,经适当变换就可用于自动控制扫描电镜样品台找到分析点。本文介绍在KONTRON图象仪IPS和带有EDAX能谱的扫描电镜上开发文件传递软件和数据格式转换软件,实现了扫描电镜按光学显微镜标记的试样分析点坐标自动定位。这是运用算机技术提高现有仪器测试水平的成功事例。
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