为何需要RTP

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【摘要】

：

当前，快速热处理（RTP）已成为许多先进的CMOS器件制造技术中必不可少的工艺技术。 At present, rapid thermal processing (RTP) has become an indispensable process technolo

【作者】

：

LauraPeters 张义强

【出处】

：

微电子技术

【发表日期】

：

1995年06期

【关键词】

：

快速热处理器件制造工艺技术台阶覆盖淀积 RTP 杂质扩散半导体工艺热载流子氧化层

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当前，快速热处理（RTP）已成为许多先进的CMOS器件制造技术中必不可少的工艺技术。 At present, rapid thermal processing (RTP) has become an indispensable process technology in many advanced CMOS device manufacturing technologies.

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