【摘 要】
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介绍了显微干涉系统测量微细图形台阶高度的方法。从理论和设计角度分析了干涉条纹形状、间隔、对比度及稳定性，对该系统进行了实验，实验结果表明，对比度Ｋ＞０．８，测量精度优于８ｎｍ。
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【机 构】
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精密仪器与机械学系,精密仪器与机械学系,精密仪器与机械学系,精密仪器与机械学系,精密仪器与机械学系
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介绍了显微干涉系统测量微细图形台阶高度的方法。从理论和设计角度分析了干涉条纹形状、间隔、对比度及稳定性，对该系统进行了实验，实验结果表明，对比度Ｋ＞０．８，测量精度优于８ｎｍ。
The method of measuring the height of fine pattern step by microscopic interference system is introduced. The shape, interval, contrast and stability of interference fringes were analyzed theoretically and designally. Experiments on the system were carried out. The experimental results show that the contrast ratio is better than 0.8 and the accuracy is better than 8 nm.
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