【摘 要】
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基片在薄膜应力作用下产生宏观弯曲变形,使入射光线的入射角在基片不同位置产生偏差.根据空间两直线夹角公式,计算了入射光线在曲面上任意一点的入射角,得出同一入射方向的光
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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基片在薄膜应力作用下产生宏观弯曲变形,使入射光线的入射角在基片不同位置产生偏差.根据空间两直线夹角公式,计算了入射光线在曲面上任意一点的入射角,得出同一入射方向的光线在曲面不同点具有不同的入射角,即产生入射角度偏差,偏差大小与基片弯曲曲率半径成反比和入射点位置成正比.进而分析了角度偏差对光谱的影响.实验结果表明,离参考点位置越远,波长偏差越大;角度越大,耦合效率越低.实验结果与理论分析一致.
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