碳化硼薄膜制备技术研究进展

来源 :现代技术陶瓷 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hhhfff
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文归纳了碳化硼薄膜的主要特性以及近年来在功能陶瓷、热电元件等方面的广泛应用。总结了目前物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)技术制备碳化硼薄膜的主要方法,包括磁控溅射法、离子束蒸镀法、经典化学气相沉积法(c-CVD)、等离子增强化学气相沉积法(PECVD、激光化学气相沉积法(LCVD)和热丝化学气相沉积法(HFCVD)等,讨论了各种沉积技术制备碳化硼薄膜工艺中各种实验参数对薄膜生长过程的影响,并对该领域今后的研究方向进行了展望。
其他文献
生殖道沙眼衣原体(CT)感染是全球最常见的性传播疾病之一。近五年来,在北美、欧洲、东南亚的多个国家和地区,CT感染已上升为所有报告性病的首位。沙眼衣原体侵入人体后,能诱导产
东周时期的瓦当在中国瓦当史上占有极其重要的地位。与秦汉时期瓦当纹饰的统一性不同,东周时期瓦当纹饰的最大特色便是多样性。虽然该时期以秦、齐、燕三国瓦当纹饰为主导,但其
丙烯是重要的基本有机化工原料,近年来市场需求旺盛。丙烯主要来源于石脑油的蒸汽裂解。在我国,受原料限制,蒸汽裂解的生产能力难有大的发展。重油资源丰富,价格相对低廉,重
环境侵权是一种特殊的民事侵权行为,与一般的民事侵权相比较,具有侵权形态的间接性、继续性、反复性、广阔性和累计性等特征,受害人所受损失往往无法得到赔偿。这是因为环境侵权
本文旨在研究基于XPDL的工作流引擎的应用与实现。文章首先介绍了工作流管理系统的相关理论和技术,并介绍了工作流管理系统的研究现状和应用情况。然后集中阐述了工作流元模型
数控技术是先进制造技术中的一项核心技术,由数控机床组成的柔性化制造系统是改造传统机械加工装备产业、构建数字化企业的重要基础装备,它的发展一直备受制造业的关注,其设计、
本文首先从"修旧如旧"这一概念性的修复原则入手,在理论上探讨其作为总体价值评判标准时可能出现的理解误区,厘清其最早提出时的含义:作为技术措施的指导原则,在具体实践中则
<正>面对流动性风险诱发因素明显增多的趋势,规模普遍偏小、管理水平和抗风险能力相对较弱的中小银行有必要建立流动性互助机制,抱团抗击流动性风险。从实践来看,真正探索出
<正> 全身使用5—Fu 的皮肤反应不常见,由它引起的皮疹似取决于剂量和用法。已报告的各种皮肤表现,有脂溢性皮炎加剧;类似红斑狼疮的蝶形分布的斑疹;炎性光化性角化;掌和前额
期刊
<正>咳嗽是呼吸系统的常见症状,也是呼吸专科门诊主要的就诊原因,随着人们对咳嗽的关注,国内、国外近20年对咳嗽原因及治疗进行多方面研究,先后制定了咳嗽相关的临床指南,以