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本文将报导我们编制相移掩模模拟软件有关工作，分析其中几个重要参数的影响，同时在非相干，部分相干，以及干相光照明下对曝光线条边角的圆化建立了数学模型，并与实验结果加以比较。
相移掩模模拟软件研究
【摘 要】
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本文将报导我们编制相移掩模模拟软件有关工作，分析其中几个重要参数的影响，同时在非相干，部分相干，以及干相光照明下对曝光线条边角的圆化建立了数学模型，并与实验结果加以比较。
【机 构】
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中科院光电所微细加工光学技术国家实验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1995年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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