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本文介绍碳化硅加热元件的电特性、表面负荷以及工作气氛对它的影响，并对它设计和使用要点举例予以说明。
碳化硅加热元件的电性能和使用
【摘 要】
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本文介绍碳化硅加热元件的电特性、表面负荷以及工作气氛对它的影响，并对它设计和使用要点举例予以说明。
【机 构】
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电子工业部第四十八研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1996年2期
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