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本文介绍了欧姆接触的原理及测试方法，着重概述了近几年来在ｎ型ＧａＡｓ上制备欧姆接触所做的研究工作，介绍了改善欧姆接触特性的途径和方法。
n型GaAs上的欧姆接触
【摘 要】
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本文介绍了欧姆接触的原理及测试方法，着重概述了近几年来在ｎ型ＧａＡｓ上制备欧姆接触所做的研究工作，介绍了改善欧姆接触特性的途径和方法。
【机 构】
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电子工业部第十三研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1994年1期
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