【摘 要】
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文章设计、制作了PDMS薄膜阀压电泵,给出了由PMMA和PDMS构成的压电泵的基本结构,比较了悬臂梁和两端固支两种结构PDMS薄膜单向阀的压电泵性能,得出结论:在中低频下,悬臂梁结
【机 构】
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合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
【基金项目】
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2017年大学生创新创业训练计划项目“高频驱动压电泵设计与研究”(201710359043);2018年中科院成都光电所项目“大流量压电泵设计”(20184000685)阶段性成果
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文章设计、制作了PDMS薄膜阀压电泵,给出了由PMMA和PDMS构成的压电泵的基本结构,比较了悬臂梁和两端固支两种结构PDMS薄膜单向阀的压电泵性能,得出结论:在中低频下,悬臂梁结构阀压电泵输出流量大,在560V,530Hz下,悬臂梁结构阀压电泵最大输出流量为273.42ml/min;相同条件下,两端固支阀压电泵最大输出流量为212.76ml/min。两端固支阀具有优良的高频特性,在268.8V,1110Hz下,悬臂梁阀压电泵的最大输出流量为135.57ml/min;相同条件下两端固支阀压电泵最大流量为2
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