论文部分内容阅读
在微波等离子化学气相沉积装置中，分析了反应室内等离子密度空间分布以及等离子密度与气压和功率的关系，还分析了Hα（656．3nm）的峰值强度与气压和功率的关系，得到了微波放电氢等离子体内部的基本特性．
微波放电氢等离子体的特性诊断和分析
【摘 要】
：
在微波等离子化学气相沉积装置中，分析了反应室内等离子密度空间分布以及等离子密度与气压和功率的关系，还分析了Hα（656．3nm）的峰值强度与气压和功率的关系，得到了微波放电氢等离
【机 构】
：
华南师范大学物理与电信工程学院
【出 处】
：
华南师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
：
2008年3期
其他文献
微泵是微流体系统的关键部件,其广泛运用于生物流体处理和微电子冷却等领域中。本研究设计模拟了一种新型无阀微泵的作用机理,其设计目的在于低雷诺数下有效地克服水动力的可
对于电力系统中的重要用户,往往存在多条供电路径,以保证用户供电的可靠性水平。供电路径的可靠性受多种因素影响,如何在实时运行环境中评估不同供电路径的可靠性水平,并选择
简述国外农业技术推广体系的现状和发展趋势,以及中国农业技术推广发展现状,分析中国现阶段农业技术推广体系中存在的问题,并据此提出优化我国农业推广体系的建议.
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
荷包岛是珠海市旅游资源丰富的海岛之一,对其进行旅游开发,有利于促进珠海市海岛旅游的发展,提升珠海市的旅游竞争力.文章分析了荷包岛旅游资源特征及其开发现状,提出“以市
国家防汛抗旱指挥系统工程是关系我国国民经济可持续发展和人民生命财产安全的战略性水利基础设施,作为“金水工程”龙头项目,在近些年防洪减灾中发挥了重要作用。介绍了国家
简述了湛江垦区甘蔗的生产现状、生产中存在的主要问题及垦区甘蔗生产机械化开展情况。t~ttl只有提高认识，转变观念，就能大力发展甘蔗生产机械化。
本文通过对2003~2014年全国教育科学规划学前教育类立项课题数据进行量化分析发现:我国学前教育研究在各类教育研究中的占比较小,但呈现方兴未艾态势,立项课题地域分布呈现不
<正> 有机玻璃日光信号镜技术要求1.白光反射系数应大于78％以上。2.信号镜镜面处的不平度不大于0.2mm。3.信号镜镜面的表面擦痕允许宽度为0.004～0.01mm,其擦痕总面积应不大于0.
期刊
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.