【摘 要】
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在液氮温度下,利用本实验得到的关系式[N]cm~(-3)=1.05×10~(15)α_A_0·Γ,可较简便地估算氮液度。观察到LEC衬底在外延掺杂过程中也同样掺入氮。用GaN掺杂的样品和通NH_3掺
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在液氮温度下,利用本实验得到的关系式[N]cm~(-3)=1.05×10~(15)α_A_0·Γ,可较简便地估算氮液度。观察到LEC衬底在外延掺杂过程中也同样掺入氮。用GaN掺杂的样品和通NH_3掺杂的样品相比,前者的光激活氨浓度比后者低。
At the temperature of liquid nitrogen, the nitrogen level can be easily estimated by the relationship [N] cm ~ (-3) = 1.05 × 10 ~ (15) α_A_0 · Γ obtained in this experiment. It is observed that the LEC substrate also incorporates nitrogen during epitaxial doping. Compared with the sample doped with NH 3, the former doped with GaN showed a lower concentration of photoactive ammonia than the latter.
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