芯片实验室的制备技术

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kkndbz

【摘要】

：

阐述了芯片实验室的材料、微细加工、流体驱动等制备技术的近期研究进展.系统介绍了芯片实验室的各种制备技术,这些技术包括紫外光刻、软刻蚀、LIGA技术、DEM技术、键合等.流

【作者】

：

邹志青周天赵建龙徐元森

【机构】

：

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

【出处】

：

功能材料与器件学报

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

芯片实验室微全分析系统 PCR芯片毛细管电泳芯片

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阐述了芯片实验室的材料、微细加工、流体驱动等制备技术的近期研究进展.系统介绍了芯片实验室的各种制备技术,这些技术包括紫外光刻、软刻蚀、LIGA技术、DEM技术、键合等.流体驱动是芯片实验室的动力,对多种新颖的流体驱动设计进行了对比,这些设计包括压力驱动、电渗驱动、电水力驱动、表面张力驱动、离心力驱动等.

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