掺杂浓度对AZO薄膜结构和性能的影响

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ztzyls

【摘要】

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采用溶胶-凝胶工艺在玻璃基片上制备Al3+掺杂型的ZnO(AZO)透明导电薄膜,对薄膜进行了XRD和SEM分析,并对其光电性能作了详细的研究.结果表明:薄膜为纤锌矿型结构,呈c轴方向择

【作者】

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葛春桥夏志林郭爱云

【机构】

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武汉理工大学材料科学与工程学院

【出处】

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电子元件与材料

【发表日期】

：

2004年9期

【关键词】

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掺杂浓度 AZO薄膜溶胶-凝胶 SEM XRD 电阻率 semiconductor materials oploeleclronics and laser t

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采用溶胶-凝胶工艺在玻璃基片上制备Al3+掺杂型的ZnO(AZO)透明导电薄膜,对薄膜进行了XRD和SEM分析,并对其光电性能作了详细的研究.结果表明:薄膜为纤锌矿型结构,呈c轴方向择优生长;薄膜的可见光透过率可达80%以上;Al3+掺杂型的ZnO透明导电薄膜的电阻率为1.5×10-2～8.2×10-2 Ω·cm.

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