【摘 要】
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以160 mm×160 mm规格单晶硅片为实验原材料,分别研究了小氮和氧气流量对薄层方块电阻的大小、均匀性、扩散后硅片少子寿命的影响,以及最终对单晶太阳电池开路电压（V（oc））、
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以160 mm×160 mm规格单晶硅片为实验原材料,分别研究了小氮和氧气流量对薄层方块电阻的大小、均匀性、扩散后硅片少子寿命的影响,以及最终对单晶太阳电池开路电压（V（oc））、短路电流（I（sc））、转换效率（η）等电性能参数的影响。通过逐步改变小氮和氧气流量,找出小氮和氧气流量的最佳比值,优化了扩散工艺。实验证明,小氮流量在1 100m L/min,氧气流量在500 mL/min时,太阳电池的转化效率最高。
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