【摘 要】
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使用脉冲激光沉积（PLD）方法在柔性衬底PMMA和PET上制备了具有高C轴择优取向的AZO（ZnO：Al）薄膜。通过X射线衍射（XRD）、紫外可见分光光度计（UV-Vis）和纳米划痕仪，研究了在不同衬底下生长
【机 构】
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深圳大学材料学院深圳市传感器技术重点实验室,深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室
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使用脉冲激光沉积（PLD）方法在柔性衬底PMMA和PET上制备了具有高C轴择优取向的AZO（ZnO：Al）薄膜。通过X射线衍射（XRD）、紫外可见分光光度计（UV-Vis）和纳米划痕仪，研究了在不同衬底下生长的薄膜样品的晶体结构、光学性能和附着力。结果表明，两种柔性衬底上生长的Az0薄膜都是单一的ZnO六方相，可见光范围内光学透过率均大于85％；PMMA、PET衬底上AZO薄膜的临界载荷数值分别为31．31mN和16．97mN，PET衬底上ITO薄膜的临界载荷数值为40．55mN。
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