【摘 要】
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通过拉曼光谱及荧光光谱测量研究了采用低压金属有机化学沉积(MOCVD)方法生长的InGaN/GaN多量子阱高温快速热退火处理对量子阱光学性质的影响. 观测到退火后InGaN/GaN量子阱
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通过拉曼光谱及荧光光谱测量研究了采用低压金属有机化学沉积(MOCVD)方法生长的InGaN/GaN多量子阱高温快速热退火处理对量子阱光学性质的影响. 观测到退火后InGaN/GaN量子阱的拉曼光谱E2, A1(LO)模式的峰位置出现了红移, 而且该振动峰的半高宽也有微小变化. 温度升高退火效果更明显. 退火使量子阱内应力部分消除, 同时In,Ga原子扩散出现相分离使拉曼谱表现出变化. 在常温和低温下的光荧光谱表明, 退火处理的量子阱发光主峰都出现了红移; 而且低温退火出现红移, 退火温度升高相对低温退火出
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