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针对特定的膜层结构，从理论上计算了膜片表面散射与表面均方奶粗糙度的关系，根据测量的膜片表面总积分散射计算得到的表面均方根粗糙度与在长春光机所用由美国进口的ＷＹＫＯ表面测量仪测量得到的表面均方根粗糙度基本符合。除了在明显伤良的地方相差较大而外，它们相差在１Ａ°以内。
高反膜片均方根粗糙度的测量
【摘 要】
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针对特定的膜层结构，从理论上计算了膜片表面散射与表面均方奶粗糙度的关系，根据测量的膜片表面总积分散射计算得到的表面均方根粗糙度与在长春光机所用由美国进口的ＷＹＫＯ表面测量仪
【机 构】
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湖南长沙市国防科技大学应用物理系208教研室,国防科技大学应用物理系
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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2000年6期
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