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研究了3种不同剂量He^+离子辐照后Inconel 718合金的形貌变化规律及其形成机理。结果表明,He^+离子辐照会在合金表面形成纳米多孔结构,其孔径会随辐照剂量的增加而增大。此外,He^+离子辐照还会破坏合金表面δ相并导致碳化物的持续溅射损耗,且这一现象会随着辐照剂量的增加而愈发严重。由于辐照过程中氦泡间微观应力δn作用会引起毗邻材料断裂及氦泡合并长大,且辐照溅射作用又会导致氦泡上层薄膜的损耗甚至破裂,因而这也是He^+离子辐照Inconel 718合金表面纳米多孔结构的形成机制。