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内容涉及洁净厂房内高纯气体系统的管道合理设计,正确施工安装及科学运行管理等技术措施.
洁净厂房内气体管道的技术措施
【摘 要】
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内容涉及洁净厂房内高纯气体系统的管道合理设计,正确施工安装及科学运行管理等技术措施.
【机 构】
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中国航天建筑设计研究院
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2002年3期
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