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同一波长曝光和再现的光互连导板的制备
同一波长曝光和再现的光互连导板的制备
来源 :高技术通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liqing804240
【摘 要】
:
全息干版薄膜在曝光后处理过程中产生收缩,致使曝光产生的光栅条纹倾斜度增大,从而使再现光经布喇格光栅衍射后,射入先导板的入射角增大,导致再现光在光导板中产生全反射。通过这
【作 者】
:
梁国栋
郑杰
【机 构】
:
中国科学院长春物理研究所
【出 处】
:
高技术通讯
【发表日期】
:
1994年3期
【关键词】
:
全处光栅
光互连
导板
计算机通信
: Volume phase holographic grating
Bragg diffraction
Contrac
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全息干版薄膜在曝光后处理过程中产生收缩,致使曝光产生的光栅条纹倾斜度增大,从而使再现光经布喇格光栅衍射后,射入先导板的入射角增大,导致再现光在光导板中产生全反射。通过这种方法,在全息干版上制备出同一波长曝光和再现的光互连导板。
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