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光热偏转薄膜热导测试系统及其应用
光热偏转薄膜热导测试系统及其应用
来源 :高技术通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yahu911
【摘 要】
:
根据光热偏转光谱(PTDS)原理,研制成功光热偏转法薄膜热导测试系统,对大量试样进行了测量,结果同文献参考值符合较好,测量重复精度优于50%,为材料科学有关热性质的研究,特别是有关光热偏转薄
【作 者】
:
张纪法
王冠中
【机 构】
:
中国科学技术大学物理系
【出 处】
:
高技术通讯
【发表日期】
:
1995年2期
【关键词】
:
光热偏转
薄膜
热扩散系统
热导率
金刚石薄膜
Photothermal deflection
Thin films
Thermal diffusivity
【基金项目】
:
863计划资助项目
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根据光热偏转光谱(PTDS)原理,研制成功光热偏转法薄膜热导测试系统,对大量试样进行了测量,结果同文献参考值符合较好,测量重复精度优于50%,为材料科学有关热性质的研究,特别是有关光热偏转薄膜热导率的研究提供了有力的检测手段,为研制高质量金刚石薄膜提供了依据。
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