由浅离子注入实现的MQW混合

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用浅P^+离子注入InGaAs/InGaAsP应变多量子阱(MQW)激光器H2/N2混合气氛下的快速退火,体内MQW层发生组份混合(intermixing),导致器件的带隙波长蓝移(blue shift),结构的光荧光(PL)峰值波长向短波方向移动了76nm。作者认为,有源区中的应力对量子阱混合起到了十分关键性的作用。
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