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利用傅里叶变换红外光谱仪和X射线激发的CKLL俄歇谱的一次微分表征了类金刚石（DLC）膜的微结构。指出在高离子能量轰击低CH4压强下所形成的DLC膜内以sp^3C-C键为主，并且sp^3碳成分随V／Pa^1/2增加而增加，与退火温度2000℃到800℃无关，DLC膜具有好的热稳定性。DLC膜密度研究所指出：膜密度与沉积参量和基底材料有关。