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本文介绍f秒(fs)激光的特性及其制造技术。
f秒激光的制造技术
【摘 要】
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本文介绍f秒(fs)激光的特性及其制造技术。
【机 构】
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南京电子器件研究所
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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2001年3期
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