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本文综述了封装工艺发展历程及趋势，对后封装设备以及设备制造核心关键技术进行了分析。
先进IC封装工艺设备及关键技术
【摘 要】
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本文综述了封装工艺发展历程及趋势，对后封装设备以及设备制造核心关键技术进行了分析。
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2003年8期
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