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本文从LED外延及芯片生产线应用SPC统计过程控制技术的需求、意义、实施等入手,结合LED外延及芯片产品的工艺特点,给出LED外延及芯片生产线应用SPC统计过程控制技术的方法。
LED芯片制程中统计过程控制技术的应用
【摘 要】
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本文从LED外延及芯片生产线应用SPC统计过程控制技术的需求、意义、实施等入手,结合LED外延及芯片产品的工艺特点,给出LED外延及芯片生产线应用SPC统计过程控制技术的方法。
【机 构】
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西安中为光电科技有限公司
【出 处】
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电子技术与软件工程
【发表日期】
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2019年03期
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