【摘 要】
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目的观测微小样品和测量接近光学显微极限的微小结构。方法采用405nm激光作为显微测量系统的照明光源,以道间距为0.74μm的DVD-R盘片为标准时对激光显微测量系统进行标定,同
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目的观测微小样品和测量接近光学显微极限的微小结构。方法采用405nm激光作为显微测量系统的照明光源,以道间距为0.74μm的DVD-R盘片为标准时对激光显微测量系统进行标定,同时通过自编分析软件对CD-R盘片和DVD-R盘片进行了测量分析。结果所研究405nm激光显微测量系统是有较高的显微测量精度,同时是有实时采集、实时显示功能。结论本系统较传统白光照明具有亮度高、色差小、测量精度高等优点,可用于观测微小样品和测量接近光学显微极限的微小结构。
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