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GeO2—SiO2平面波导的应用及其发展
GeO2—SiO2平面波导的应用及其发展
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zprtsge
【摘 要】
:
综合论述了GeO2-SiO2薄膜平面波导的发展历史和前景以及在集成光学中的应用.对该系统各种制备薄膜的方法及其各自的优缺点进行了阐述.
【作 者】
:
许丕池
余海湖
李小甫
李鸿辉
姜德生
【机 构】
:
武汉理工大学光纤中心
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2003年4期
【关键词】
:
GeO2
GeO2-SiO2
平面波导
制备
二氧化锗
二氧化硅
半导体
集成光学
GeO2
GeO2-SiO2
planar waveguide
thin
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综合论述了GeO2-SiO2薄膜平面波导的发展历史和前景以及在集成光学中的应用.对该系统各种制备薄膜的方法及其各自的优缺点进行了阐述.
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